5、如果拆下以后，零件完好無損，油也清潔且無雜物，則泵腔內壁可不必擦洗。若零件受到了損傷或損壞，應更換零件。若需要擦洗時，一般用紗布擦拭即可。若因為有金屬碎屑、泥沙或其他臟物而必須清洗時，則可用汽油等擦洗。應避免纖維留在零件上，防止堵塞油孔。用清洗液清洗時，不要浸泡，以免滲入螺孔或銷孔中。清洗后需經過干燥才可進行重新裝配。
6、重新裝配。裝配方法和步驟如下所述。
①裝配前，需要紗布擦凈零件，不要用棉紗或回絲，以防止回絲堵塞油孔。零件表面涂有清潔的真空泵油。
②先裝高級轉子和旋片，再裝高級定蓋銷、螺釘、鍵及泵聯軸器等。建議以定子端面為基準豎線。裝后用手旋轉轉子，應無滯阻。轉子與定子的弧面不可緊貼，以防止咬合。
③用與②的相同的方法安裝低級轉子和旋片。注意各O形環密封圈應先裝在槽內，且O形環密封圈應換上新品。
④將止回閥偏心塊轉到上方，拔起偏心塊，測量進油嘴上的橡膠止回閥平面與進油孔嘴開啟的最大距離應為2~3mm。松手后，止回閥應自動關閉進油孔。必要時，可調節閥桿座上的三個螺釘。
⑤將真空泵的組成部件、鍵和泵聯軸器裝在支架上，旋緊螺栓固緊。手盤動聯軸器應能被輕松旋轉。安裝上防護蓋。
⑥裝上氣道壓蓋、排氣閥、擋油板和裝油箱。
⑦裝上進氣嘴、氣鎮閥，并以法蘭緊固。在裝氣鎮閥時，先將O形環密封圈涂上油，再裝入氣鎮閥，應使氣鎮閥的密封平面與油箱頂面盡量平行，然后緊固油箱螺栓。
需要注意的事項如下:
①記住零件的原裝位置，按原位置裝配，可減小配合時間;
②緊固件應無松動;
③裝配后，應觀察運轉情況，并測量極限真空，不合格時應加以調整;
④在檢修泵的同時，也應對系統管道、閥門電動機等加以檢查和檢修。
