1、輸出阻抗高，負載能力差
電容式傳感器的容量受其電極的幾何尺寸等限制，一般為幾十到幾百皮法，其至只有幾個皮法，使傳感器的輸出阻抗很高，尤其當采用癌烽范圍內(nèi)的交流電源時，輸出阻抗高達108~106Ω。因此傳感器負載能力差，易受外界干擾影響而產(chǎn)生不穩(wěn)定現(xiàn)象，嚴重時甚至無法工作，必須采取屏項措施，從而給設(shè)計和使用帶來不便。容抗大還要求傳感器絕緣部分的電阻值極高(幾十兆歐以上)，理則絕緣部分將作為勞路電阻而影響儀器的性能(如靈敏度降低)，為此還要特別注意周圍的環(huán)境如濕度、清潔度等。若采用高頻供電，可降低傳感器輸出蛆抗，但高頻放大、傳輸遠比低頻的復雜，且寄生電容影響大，不易保證工作十分穩(wěn)定。
2、寄生電容影響大
電容式傳感器的初始電容量小，而連接傳感炭和電子線路的引線電纜電容(1~2m導線可達800pF)、電子線路的雜散電容以及傳感器內(nèi)極板與其周圍導體構(gòu)成的電容等所謂“寄生電容”卻較大，不僅降低了傳感器的靈敏度，而且這些電容(如電纜電容)常常是隨機變化的，將使儀器工作很不穩(wěn)定，影響測量精度。因此對電纜的選擇、安裝、接法都有要求。
應該指出，隨著材料、工藝、電子技術(shù)，特別是集成技術(shù)的高速發(fā)展，使電容式傳感器的優(yōu)點得到發(fā)揚而缺點不斷地得到克服。電容式傳感器正逐漸成為一種高靈敏度、高精度，在動態(tài)、低壓及一些特殊測量方面大有發(fā)展前途的傳感器。
