電容式傳感器具有結構簡單、靈敏度高、分辨力高、能感受0.01μm甚至更小的唯一、無反作用力、動態響應號、能實現非接觸測量、能在惡劣環境下工作等優點，而且隨著新工藝、新材料問世，特別是電子技術的發展，使干擾和寄生電容等問題不斷得到解決，因此越來越廣泛應用于各種測量中，電容式傳感器可用來測量直線為宜、角位移、振動振幅（可測至0.05μm微小振幅），尤其適合測量高頻振動振幅、精密軸系回轉精度、加速度等機械量，還可用來測量壓力、壓差力、液位、料面、成分含量（如油、糧食中的含水量）、非金屬次啊聊的土層、油膜等厚度，測量電介質的師傅、密度、厚度等等。

在自動檢測和控制系統中也常常用來作為位置信號發生器，當測量金屬表面狀況、距離尺寸、振動振幅時，往往采用單邊式變極距型電容傳感器，這時被測物是電容器的一個電極，另一個電極則是在傳感器內。